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如何選擇三維形貌測量儀?

發布時間:2020-03-18 13:43:32

三維形貌測量儀選型很重要。

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那么如何選型了?

一,確定測量工件是什么?什么材質的,什么形狀的,尺寸多大?

二,確定需要測量哪些參數,測量精度多少?

三,是否有特殊要求。

通過以上3點基本可以確定三維形貌測量儀的型號和配置了。

三維形貌測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

三維形貌測量儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

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